投影式光刻机，最重要的就是掩膜版的制作，掩膜版制作完成，工作就算是完成了大半。



不过由于多层次立体晶体管架构的特殊性，掩膜版并不止一块，而是多块多层次，分别进行曝光，才能完成。



多块掩膜版的切换，自然也不是原本的光刻机能够做到的，为此杨青对光刻机的光学系统，还有工作台，做了大改，以适应这些特别的加工需求。



也幸亏杨青是生活在华国这个加工业的大国，大部分的零部件，哪怕是需要进口的高精度伺服电机，也能在短时间内到货，让杨青的改进工作顺利了许多。



仅仅光刻机的改进工作，就持续了一个月的时间，从还有些暖意的晚秋，一直持续到冰冷的寒冬，才算是彻底结束。



杨青学的是计算机，但是光刻机作为人类工业文明的最高结晶，汇集了机械，电子，光学还有软件方面的大量成果，尽管眼前他所使用的是duv，而不是阿斯麦的最新成果euv，可是想要对它进行改进，同样不仅需要跨越各行业，各门类的知识水平，还需要同样强悍的动手能力。



不说知识结构，仅仅从动手能力上来说，杨青对于身体的掌控已经到了极点，大概就是脑子怎么想的，手上就能给你实现出来，力气又大，一块钢板，他拿手掰几下，就能掰出想要的形状来。



但是这里面论起动手能力，杨青绝对不是最强的，从白一到白十，这几个机器人，动手能力甚至比杨青还要强。



当然，与其说是这几个机器人厉害，还不如说是它们背后的小嫒厉害。



这时候，杨青费尽心机研究的人造肌肉，就有了价值，因为人造肌肉的特点就是受到电流的刺激产生收缩。



而芯片对于电流的控制能力，显然远大于对伺服电机运动的控制，因为只要伺服电机转起来，就会有惯性，反应到现实中，就是机器人最终的动作会有些许的变形。



这一些变形对于普通人类来说自然是看不出来的，但是在高精度的加工工作中，就成了瑕疵。



所以小嫒的厉害也是依托于白一它们这些机器人的能力上，才表现出来的。



这就跟白灵白珊它们不同，尽管白灵白珊它们在小嫒的控制下，也能够胜任一些普通人都能做的工作，但是想利用它们完成光刻机的改进，就是天方夜谭了。



期间完成的还有银互联的银离子镀层技术，就跟铜互联的方式相差无几，只不过进行化学气相沉积时候，药剂有了不同，需要进行替换，可以说这是最容易替换的技术了。



当杨青终于站在完工后的光刻机前面，也不禁有种松了一口气的感觉。



改进后的光刻机，体积足足扩大了一倍还多，这样的庞然大物，偏偏要用磨绣花针的手法去修配安装，始终让人轻松不起来。



杨青费这么大的力气改造光刻机，自然不是仅仅为了生产这一种九十纳米制程的芯片，实际上要不是杨青他们设计的芯片，已经定型在了九十纳米上面，现在的光刻机的制程，立刻就能达到二十八纳米的程度。



这已经是国产的透镜，经过小嫒精磨以后，能够达到的最细线宽了。



理论上来说这样的透镜，经过多次曝光以后，也可以加工7纳米的芯片，但是杨青对这个兴趣并不大，他又不是手机生产企业，对于性能更强的芯片没有需求，并且就算有了7纳米的生产能力，他的芯片又不能和别人家的系统适配，未必能竞争得过人家。



既然光刻机已经改造完毕了，那么接下来最重要的就是试生产一批芯片，好验证一下改造的效果。



之前的大略试用自然是成功了，一张六英寸硅晶圆，上面只光刻一个芯片，切割封装以后，还算是成功，芯片的性能也在预计范围内。



下面进行试生产，就是验证一下改进后的光刻机，它的生产效率还有成本。



如果成本太高，已经比买进芯片的成本还高，哪怕是性能再强，生产一批以后，就要封存起来，等以后升级换代再重新启用。



新购进的一千片六英寸硅晶圆被放在原料箱内，随着输送带被传送进光刻机里面，里面开始抽气，保持相对真空的状态，然后硅晶圆被放在工作台上，镀膜旋涂，干燥，然后掩膜版升起，激光头开始工作。