表面特定区域，实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。”



“原理上大概就是这样，一会儿操控的时候，你们离远一点，必要的时候给我递过来一些工具。”



“磁控溅射台操作起来，会比较危险，所以你们在旁边观看就行，保护好自己别受伤。”



张明瑞淡淡的说道，距离成功只差两步了，所以他要早点行动，提前完成进度，这个假期已经没有多长时间了。



“好！那你要小心，有什么东西需要我们拿的就吱一声。”



吴经理知道他们是爱莫能助，便将白经理拉倒一旁观看着。



张明瑞将芯片小心翼翼的转移到磁控溅射台上，拧开气阀门，将所有气体迅速放出，开腔放入基片，随即关上气阀门。



“一抽三冲，这是关键，你们好好看！”



张明瑞严肃的跟那俩人说道，随即展开一系列操作。



“所谓一抽三冲，指的就是，打开进气阀，把氧气的流量仪直接打到关闭。”



张明瑞一边说着，一边操作，没有一丝疏漏的完成了一抽三冲。



“最后一点，要切记关闭旁抽，这是很重要的。”



张明瑞说着，那两人在旁边疯狂点头。



“现在打开电磁闸，开始准备溅射。



在对一个芯片溅射之前，我们要完成预溅射。”



张明瑞开始操作，每一步都处理的非常清晰，两个人都一丝不苟的观察着，学习着。



“降低加热器衬底至标刻度19以下，将样品转到右靶，找到合适的位置，开始计时。”



整个实验室安静的只剩张明瑞自信有力的说话声，张明瑞一边给两人讲解，一边操作，还要腾出一只手来握着秒表。



如果这个实验只有张明瑞自己一个人来实施的话，或许进度会提高一点，但和这两位经理一起，也不是坏事，这样他研制成功后，这两人也可以模拟了。



“右靶溅射完毕，调到左靶继续溅射，步骤和刚刚都是一样的。”



张明瑞简单的说了一句就开始专心计时了。



大概过了十分钟之久，芯片完成了溅射，薄膜逐渐形成，已经肉眼可见。



“吴大哥，你过来帮我把芯片挪走，我现在要关闭一起。”



张明瑞招呼着吴经理，手一台一落，调节着频率，动作干脆利落。



“关闭仪器也很重要，从上至下，依次关闭，流量计，闸板阀，分子泵要打到关闭，大概需要十分钟。”



“当冷却时间足够时，才能依次关闭分子泵电源和电磁闸，最后一步才是总电源。”



“关闭仪器的时候，一定要小心谨慎，不能一步出错，否则很容易引起机械故障发生爆炸。”



张明瑞语重心长的说道，似乎又想起了什么往事。



搞科研的危险性，和随时面临着牺牲的精神，大概是很多人所抗拒的，这也是为什么在这个年代，搞科研的人越来越少的原因。