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正文 第231章 野心初现,和国际顶尖的差距
“目前,干法刻蚀工艺主要是离子铣刻蚀、等离子刻蚀和反应离子刻蚀三种方案。”

“而这三种方案,离子铣刻蚀最为简单,可控性也比较高,技术成熟度也很高,相关的专利其实也已经被申请的差不多了,想要弯道超车,避开西方的专利壁垒,这个方案非常的难。”

“除此之外,这个方案也有技术本身的缺点,那就是刻

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