UV



LLC的成员集体向阿斯麦注资了一大笔钱，这次主要的研发任务就在阿斯麦。”



“比如，英特尔，还有米国三大实验室的专家，集体进驻了阿斯麦和台积电。”



“再比如，不知道为什么，这次台积电的地位好像发生了变化，他们似乎比英特尔更加重要。”



“再再比如……”



“停！”齐磊打断，“你是说…台积电很重要？”



鲍尔森呆愣，“对啊！”



齐磊目光一凝，似乎抓住了什么，急忙问道，“关于台积电，还有什么反常的举动吗？”



鲍尔森，“怎么了？”



齐磊，“少废话，告诉我有还是没有！”



鲍尔森那边立时传来哗啦啦的翻找声，显然鲍尔森要再看一眼资料。



“有！！”



“都是什么？”



鲍尔森，“首先，台积电取消了一笔光刻机订单，是和尼康的。”（这个时期，光刻机还是尼康的天下。）



“还有，台积电扩建了超纯水的处理系统，订单给了米国的一家设备公司。”



“还有！”沉吟半晌，“还有，台积电派出的专家团队有一个人很特别。”



齐磊听到这里，眼中直冒绿光，一段几乎被遗忘的记忆在脑中渐渐清晰。



迫不及待，“有多特别！？”



鲍尔森，“这个人不是某个领域的专家，也不是台积电的关键技术工程师，他只是…只是一个车间的技术员？”



说到这儿，鲍尔森又气馁了，“你瞧，我真的在查！可是，这些都没什么用啊！”



他却不知道，电话那头的齐磊已经有答案了——浸润式光刻机！！



EUV



LLC当下在搞的技术攻关，就是浸润式光刻机，也就是湿刻法。



就在鲍尔森还懵着的时候，齐磊滴的一声把电话挂了。



鲍尔森人傻了，什么情况？断线了？



再给齐磊拨过去，那边却是占线。



齐磊的电话是打给拜伦.奥古斯特的。



刚一接通，齐磊的问题连珠炮似的打出去。



“台积电今年有增产计划吗？他们退订了尼康的光刻机，却扩建了净水规模，这合理吗？”



“还有，你听没听说过湿刻法？”



拜伦就喜欢老板这么直来直去的，而且是在他擅长的领域，一点不废话。



“据我所知，台积电没有增产计划。”



“第二，都退订了，还要那么多水干什么？有病啊？”



“第三，什么是湿刻法？你又不懂技术，别瞎出主意！”



齐磊，“挂了！”



现在，他可以基本确定，EUV



LLC就是在搞湿刻。



在湿刻法，也就是浸润式光刻机出来之前，几大光刻机厂家，包括尼康、阿斯麦等等，都是干刻。



所谓光刻，就是把光打在掩模板上，再投射到晶圆上面，使得晶圆上的光学胶水发生反应，行程电路的过程。



干刻时代，从光源到掩模板再到晶圆是在气体介质中完成光刻的，极限就是193纳米。



而湿刻，顾名思义，就是把在气体介质中进行的光刻过程移到水里。



具体怎么回事儿，反正齐磊也不懂，就知道湿刻比干刻有优势，可以在不改变光刻机其它部件和精度的情况下，突破193纳米的极限。



这也是齐磊在后世的报道中得到的只言片语。



而且还知道，这个从干刻到湿刻的过程，正是台积电的一个技术人员提出来的。