模具没问题,但你要造微米级甚至纳米级的模具就没辙了。
换句话说,如果你能造出纳米级的掩膜版出来,你何必再去费劲搞什么光刻机呢?
因此包括光源以及整个65式的整个设计都要推翻。
「需要全新的光源系统,以及校准工件台。」庄卫忧心忡忡的说。
庄卫可不是胡说瞎说,就现在65光刻机还使用高压汞灯作为光源,高大0.5微米的波长就注定没办法光刻太精细的芯片,更不要说还要做更精细的模具。
而如果使用更细的G光或者深紫外光又或者极紫外光等等,那些技术上就更难了,因为波长越小的激光,就越容易被吸收,可能连一厘米的空气都无法传播,庄卫根本不知道该怎样做镜片组合才能既能反射光线,又不让光线被吸收。
最后还有下面的工件台,如果要更精细的光刻,就只能做大掩膜版,然后一块一块的投射在硅片上,这就需要下面的工件台能完全对准,一个纳米都不能错。
以庄卫的理解,他不知道该如何才能做出这种精准的定位。
作为身在行业中的人,庄卫越是了解的多就越是绝望。
郑南却笑着拍拍庄卫的肩膀告诉他:「不要想那么多,先把65光刻机搞出来再说吧,饭要一口一口吃,现在我的VCD和音响可都还嗷嗷待哺等着芯片呢!」
庄卫点头,不知为何他就能相信郑南能创造奇迹。