正文 第九十九章 华芯国际
孟松摇了摇头,解释道:“现在我们最先进的光刻机用的是深紫外光源,arf线光刻胶就能够满足制程需要,但现阶段我们用的arf线光刻胶是湿法工艺,做单芯片问题不大,但做双叠加芯片就容易出现电路坍塌的问题,这一部分我们还在想办法攻克,或是寻找开发干式光刻工艺。”
柯蓝深吸了一口气,没有说话了。
而两人在这边说着话的时候,线体上已经有条不紊的开始了华科新材的新arf线光刻胶的涂布工序,开始进入了光刻环节。
几人观看了一阵,见工序正常进行,除了必要的技术人员跟进执行以及华科新材的人全程跟进之外,大部分人就结束了看现场,走出了车间,在外面会议室一边工作一边等待结果。
一天很快就过去了。
晚上,加班加点等待的众人正祈祷着一切顺利之时,一个坏消息从车间传了出来。
“各位领导,电路图案清晰度不够!分辨率不够!”
华芯国际的技术人员介绍了情况,说了自己的判断结果,然后问道:“后面的测试还要继续进行吗?”
这时,从车间走出来的华科新材一行人紧随其后走进了会议室,个个脸上都明显的流露出失落、沮丧的神情。
作为专业人士的他们,知道了这个结果后,也知道了后面的测试都不用进行了。
果然,他们很快就听到华芯国际技术老大孟松果断的否定:“不用了,清晰度和分辨率都不够,生产出来的晶圆都是不达标的。”
“好的!”
见老大发话了,这名技术人员立即应了一声,然后就下去了。
会议室内,三方人员互相看了看,在经过了短暂的沉默后,华科新材的老板强打精神笑道:“感谢孟总和余总、还有柯总的大力支持,这次的失败是我们材料性能不过关,我们回去深入分析原因,制定改善措施,争取最快速度制作改善品进行下一次的测试。”
中正公司的人都没吭声。华芯国际技术老大孟松发话道:“清晰度和分辨率,是贵司光刻胶存在对深紫外光源的过量散射和衍射,这一部分应当给予足够的重视和研究。”
“是的,我们会想办法解决这个问题。”华科新材老板立即表态道。
这时,一旁的余龙光忽然说道:“林总,这个问题我记得飞扬新材料的周总讲过,现在看,似乎是他当时就看出了点苗头。”
“这……”
华科新材研发老大林立强被余龙光这话一说,顿时就有些尴尬,甚至下不来台。
他压根没想过这次他们精心研发多年的arf线光刻胶竟然会测试失败,毕竟无论是大数据模拟还是经验计算,都是没什么问题的。
华科新材老板立即打圆场道:“我看也不见得。”
中芯国际技术老大孟松听得有些惊讶了,问道:“飞扬新材料的周总,哪位周总?也是做光刻胶的吗?”
余龙光的话让他立即脑补还原了场面,似乎是有个人看出了华科新材这次测试的arf线光刻胶的问题并对华科新材的人提醒了,但华科新材的人没有当回事。
从现在测试失败的事实来看,对方的确眼光犀利、实力惊人。
“不是做光刻胶的!”
华科新材老板立即回答道:“对方也只是针对光刻胶材料提出了他自己的看法,并没有提及我司这款arf线光刻胶。”
事实也是如此,所以他觉得有必要澄清一下,把他们华科新材摘出来,可不能让孟松误认为是他们明知道有问题还来找华芯国际测试。
一旦孟松产生了误会,那华科新材以后的日子可就难过了。
“孟总可知道飞扬光学?”
这时,余龙光问道。
孟松想了想,回答道:“有点印象,是不是被鹰酱制裁的那家做光学材料的飞扬光学?”wΑpkānshu伍lα
“是的!”
余龙光点了点头,继续道:“飞扬新材